純水系統所得的純水仍含有許多污染物質,而貯存期間水質也會持續劣化,對於高靈敏度分析用的實驗用水,使用所謂 “超純水系統”,可進一步的將純水中的微量污染物質去除。針對不同的污染物質,須使用高專一性,高去除能力並低溶出污染的純化濾材,也就是使用超純離子交換樹脂來去除離子,超純活性碳來去除有機物質,濾膜法來去除微粒子。

不同的純水系統,會因為所使用的純化方法不同而得到不同水質的純水,所以並不是所有的純水系統都適合作為超純水系統的進水,這是因為超純水系統對污染物質的處理量有一定的限制,

當處理水中的污染物質含量過高時,會立即產生阻塞現象,並在短時間內就會發生水質不穩定的問題。若進水的水質良好,超純水系統的處理負荷較小,便能夠發揮極高的去除效能。因此,以純化度高、水質安定的 RO+EDI 純水做為超純水系統的供應水是最適合不過了。

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