我們分別以EDI純水與離子交換樹脂水作超純水純化,並進行超純水的TOC值(有機物濃度)檢測(圖1)。

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以離子交換樹脂水作為供給水時,初期超純水的 TOC 值較高,為 100-300 ppb,之後會降低,介於 40-150 ppb,但不安定,進一步採樣時發現,TOC 會隨著時間而增加。而以 EDI 純水作為供給水時,剛開始 TOC 為 200 ppb左右,之後介於 10-40 ppb,第二次用水之後則成為 10 ppb 左右安定的超純水。

圖2為 EDI 純水(純水儲槽貯存後)與離子交換樹脂水的水質(TOC值)變化。經純水儲槽貯存的 EDI 純水於試驗期間都採樣檢測,離子交換樹脂水則於累積體積達到 500 公升後予以檢測。結果顯示,EDI 純水即使經過貯存,檢測期間的 TOC 值都非常安定,而離子交換樹脂水的 TOC 值都很高,而且每天的起伏也很劇烈。因此,如果用離子交換樹脂水做為供應水,將無法充分發揮超純水系統應有的純化功能。

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