分別以 EDI純水與蒸餾水作為供給水時,純化後的超純水的 TOC 值如圖1所示。以蒸餾水作為供給水雖然有時可以達到 EDI 純水的效果,但其變動範圍大,有時超純水的TOC值會超過 80 ppb。而供以 EDI 純水所得之超純水,其 TOC 能夠安定的保持在 5 ppb 以下。由此可知,以蒸餾水作為超純水系統的供給水,有時不是非常合適。

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