一次純水的水質對超純水的純化結果有很大的影響。做為超純水系統的供給水最好不要使用離子交換樹脂水或是蒸餾水,其原因並不只是因為會使超純水系統的性能無法完全發揮,並且還會降低純化管匣 (Cartridge) 與過濾膜的使用壽命。

利用逆滲透膜 (RO) 進行水質純化時,逆滲透膜的功能會受到自來水(原水)水質(因地區的不同、季節的變化等)很大的影響,因為逆滲透膜是以比例原則來去除污染物,自來水的水質越差,逆滲透純化後的水質就越差。所以,以 RO+EDI 純水做為超純水系統的供給水是最合適的,如此便可得到水質穩定的超純水。 ')}