ICP、ICP-MS幾乎可以有效的分析所有元素,因此被廣泛的使用於半導體產業、核工領域,以及環境樣品的元素分析。尤其是 ICP-MS,由於可以進行極微量的金屬分析,因此所使用的實驗室超純水,其產水的金屬是要去除到極限的。

實驗室超純水系統的純化方法中,用來去除離子的是離子交換樹脂,因此維持樹脂的交換能力是很重要的。離子交換樹脂除了會因為官能基飽和而降低去除能力外,樹脂表面也會發生因為有機物質與微生物的附著,而造成離子交換樹脂交換能力的喪失。所以在最終離子交換樹脂前的處理程序中,最好使用雙波長紫外線燈來氧化分解有機物質,以防止樹脂被污染。此外,為了儘早發覺樹脂的劣化,所以可以在前段的離子交換管匣之後裝上比阻抗計,以偵測水質的變化(圖1)。這樣的實驗室超純水系統的組合設計,對水中所含元素的偵測靈敏度可達 ppt 等 級。

影響 ICP-MS 分析結果的因素中,還包含容器的潔淨度與溶出 (extraction) 問題。當我們進行極微量的無機離子分析時,必須使用高純淨度以及不易溶出金屬離子的容器。關於其它的技術問題,如 Nebulizer 產生氣泡現象,以及 K、Ca 等離子的檢測訊號會受到 Ar 的影響,可藉去除水中溶解氣體來解決問題。

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