從比阻抗值來推估超純水中的離子含量時,首先應注意比阻抗計的靈敏度。例如,當比阻抗值由 18.2 MΩ.cm 變為 18.0 MΩ.cm 時,這意味著溶液中產生相當於 0.36 ppb (μg/L) 的離子濃度變化。也就是,比阻抗計的靈敏度應為 ppb 層級。但是,離子層析與ICP-MS等高靈敏度分析儀器,其檢測結果卻會受到超純水中 ppt (ppb 的 1/1000) 層級的離子濃度影響。此外,除以比阻抗值來進行水質管理外,也應定期進行超純水系統的維護與離子交換樹脂桶及活性碳匣的更換。

1996年,美國藥典(USP)在增加的第5修正補述中,對於相關水質的規定,使用未經溫度修正的比阻抗值,所以對不同溫度下,水質應有不同的比阻抗值加以檢測與訂定。因此,純水與超純水系統至少也需要有溫度校正值的顯示才可以。

表1 比阻抗値與無機鹽離子濃度之関係
比阻抗値
(MΩ・cm at 25℃)
as NaCl
(ppb)
18.248
0
18
0.36
15
5.56
10
21.17
1
442.49
0.1
465.79
0.025
18700.10
0.0063
74282.89
0.0032
146269.29