• 是否使用離子交換樹脂水作為超純水系統的供給水?據分析報告指出,若使用離子交換樹脂水作為供給水,於短時間內就會因離子交換樹脂汙染(有機物、顆粒)過重,使超純水管匣的壽命縮短。
  • 超純水系統的耗材是否於有效期間內進行合理更換?
  • 超純水系統是否已長時期停用?長時期停用再重新使用前,應將所有耗材一併更換。
  • 更換新品之後,依照正確的操作程序開始,新品是否能充分發揮性能?