• 是否使用 RO 水、蒸餾水或是離子交換樹脂水作為供給水?據報告指出,若使用這些水作為供給水,於短時間內就會因離子負荷過重,使超純水純化管匣的壽命縮短。
  • 超純水系統的取樣口與分析儀器是否設置於無塵室或無塵操作台?這些是能夠把汙染控制在最小範圍的環境。
  • 超純水系統的耗材是否於適當期間內進行更換?
  • 超純水系統是否長時期停用?長時間不取水時也應該定期地使超純水系統中的水進行內部循環,以保持水質。長時期停用再重新使用前,應將所有耗材一併更換。
  • 自來水中的硼含量是否過高? 硼是一種即使是超純水系統也很難去除的元素,如果自來水中的硼含量超過 500 ppb,在一般的系統中就很容易造成硼含量過高的情形。
  • 更換新的耗材之後,依照正確的操作程序開始,新品是否充分發揮性能?