「純水」、「超純水」雖是實驗用水的名詞,卻無法明確表示水的純度。
將水中的導電污染物質去除到比阻抗值達18.2 MΩ.cm (25℃) 時,就稱為「超純水」。在此必須注意的是,比阻抗值只是代表水中無機鹽類的含量,但並不能表示不含其它種類的污染物質。也就是,稱為「超純水」的水,還是可能含有不確定量的有機物、微粒子、微生物等污染物質。因此,必須同時使用「比阻抗值」與「TOC值」來評估水質。

不論以任何純化方法來去除污染物質,若無法達到18.2 MΩ.cm的水,都稱為「純水」。例如「離子交換樹脂水」、「蒸餾水」、「逆滲透水」等,都屬於純水。「蒸餾水」與「逆滲透水」這一類的純水,由於純化速率較慢,都必須使用純水儲槽儲存後再供使用,因此,被純化的水,在貯存過程中卻可能受到貯存器材的材質、混雜在空氣中的污染物與微生物的污染,造成水質的降低。所以,所謂的「純水」也無法代表一定會有很好的品質,其水質會因為純化方法與使用環境的不同而有所不同。

「超純水」的定義:一般指經離子交換樹脂、活性碳、濾膜法去除水中的主要不純物質,而其比阻抗值達到18.2 MΩ.cm的水。